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普旭COBRADS5161/9161A真空泵技術(shù)特點(diǎn)

更新時(shí)間:2018-12-25      點(diǎn)擊次數(shù):1728

普旭COBRADS5161/9161A真空泵技術(shù)特點(diǎn)
上海譜瑞特工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司在歐美有多個(gè)分子公司,整個(gè)集團(tuán)在行業(yè)內(nèi)經(jīng)營(yíng)十幾年專(zhuān)門(mén)致力于從事上*工業(yè)產(chǎn)品的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。在公司全體員工的努力及廣大客戶和業(yè)界同仁支持之下,公司業(yè)務(wù)迅速拓展,產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應(yīng)用于大中型電廠、冶金、石化、環(huán)保、紡織、鐵路、船舶、醫(yī)藥機(jī)械、包裝機(jī)械、紡織機(jī)械、食品機(jī)械、航天航空、樓宇控制等現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域。
普旭(Busch)是一家在范圍內(nèi)提供真空泵、鼓風(fēng)機(jī)和壓縮機(jī)的生產(chǎn)*。到2015年為止,普旭在范圍內(nèi)擁有3000名員工。廣泛的真空泵系列、專(zhuān)業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及廣泛的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),使得普旭(Busch)*有能力為客戶提供理想并完善的真空解決方案。
我們可以利用超過(guò)50年的真空泵和低壓泵制造經(jīng)驗(yàn)。
我們公司成立于1963年。我們?cè)?0多個(gè)國(guó)家和地區(qū)擁有60多家公司,無(wú)論客戶身在何處,我們都能為客戶提供完善的建議和實(shí)際支持。
我們所有的產(chǎn)品都具有多種選項(xiàng)和*設(shè)計(jì)功能,以滿足各種應(yīng)用需求,因此我們的客戶可以從合適和具有成本效益的解決方案中受益。我們不斷評(píng)估我們的活動(dòng),以保持高標(biāo)準(zhǔn),并繼續(xù)開(kāi)發(fā)定義真空系統(tǒng)應(yīng)用未來(lái)的創(chuàng)新技術(shù)。
我們的總部位于德國(guó)Maulburg,主要的德國(guó)制造工廠所在地。Maulburg也是德國(guó)銷(xiāo)售組織的所在地。Busch在瑞士,英國(guó),捷克共和國(guó),韓國(guó)和美國(guó)經(jīng)營(yíng)生產(chǎn)工廠。Busch集團(tuán)是一家家族企業(yè),由Busch家族成員管理。
Busch在擁有3,000多名員工,包括許多化學(xué)工程,機(jī)械工程和服務(wù)專(zhuān)家。憑借我們的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),我們?yōu)榭蛻籼峁┱婵毡煤拖到y(tǒng)的無(wú)縫服務(wù)。Busch服務(wù)技術(shù)人員和工程師在各個(gè)角落和許多行業(yè)維護(hù)真空系統(tǒng)-從北冰洋的海上石油勘探到巴塔哥尼亞的食品包裝。
普旭真空設(shè)備貿(mào)易(上海)有限公司是德國(guó)普旭(Busch)在中國(guó)的全資子公司,成立于2001年8月,位于上
海。裝備精良的維修車(chē)間配有*成套進(jìn)口設(shè)施用于凈化(除污)、檢測(cè)、維修及測(cè)試。另設(shè)有真空系統(tǒng)制造和調(diào)試車(chē)間,可以自主完成系統(tǒng)設(shè)計(jì)、組裝和調(diào)試,以確保為客戶量身定制的系統(tǒng)達(dá)到普旭(Busch)的標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),寬敞的室內(nèi)倉(cāng)庫(kù)備有充足的產(chǎn)品和配件庫(kù)存,保證及時(shí)現(xiàn)貨供應(yīng),滿足客戶的需求。分別在北京、廣州、成都、武漢設(shè)有辦事處。
干式螺桿真空泵簡(jiǎn)介:
干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品,主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過(guò)程,真空度*,可適應(yīng)惡劣工況,具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力,特別適宜于潔凈環(huán)境,且易做防腐處理,特別適用于電子,化工,生物醫(yī)藥,金屬加工,食品加工等領(lǐng)域。螺桿真空泵的內(nèi)核部分——螺桿轉(zhuǎn)子,采用三維曲面數(shù)學(xué)模型設(shè)計(jì)、求解,通過(guò)模型的實(shí)體在五坐標(biāo)聯(lián)動(dòng)的數(shù)控設(shè)備上加工,精度高,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,保證了產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間*運(yùn)行。
本產(chǎn)品的自主創(chuàng)新性,產(chǎn)品質(zhì)量及價(jià)格都具有很強(qiáng)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,可大范圍替代進(jìn)口產(chǎn)品,市場(chǎng)需求量大,將在化工、冶金、電子、石油、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、以及信息工程、生物工程、微電子等100多個(gè)領(lǐng)域全面取代目前技術(shù)含量較低的真空設(shè)備。
工作原理編輯
與螺桿式壓縮機(jī)類(lèi)似,螺桿式干式真空泵的工作過(guò)程可分為吸氣、壓縮和排氣三個(gè)過(guò)程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),每對(duì)相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán),現(xiàn)在以其中一對(duì)齒來(lái)說(shuō)明。
吸氣過(guò)程
陽(yáng)轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn),陰螺桿按順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。
壓縮過(guò)程
轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里,陽(yáng)轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn),陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。
排氣過(guò)程
螺桿泵的排氣過(guò)程,齒間容積與排氣孔口連通后,即開(kāi)始排氣過(guò)程。隨著齒間容積的不斷縮小,具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣孔口被排出。
COBRASemicon干式螺桿真空泵
極限壓力:0.001-0.03hPa(mbar)
標(biāo)稱(chēng)抽速50Hz:70-7385m?/h
標(biāo)稱(chēng)抽速60Hz:85-7385m?/h
COBRASemicon干式螺桿真空泵在半導(dǎo)體,太陽(yáng)能模塊和平板顯示器生產(chǎn)等高要求工藝中以及眾多工業(yè)涂料應(yīng)用中使用效率*。
可靠
配備電機(jī),COBRASemicon螺桿真空泵具有出色的節(jié)能潛力。簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的Busch螺桿型材(可選配額外的直接法蘭安裝的羅茨真空泵),使COBRASemicon成為功能強(qiáng)大,可靠且低維護(hù)的真空發(fā)生器。
面向應(yīng)用的
COBRASemicon螺桿真空泵有多種尺寸和型號(hào)可供選擇,可與任何工藝匹配。即使在空間有限的情況下,其緊湊的結(jié)構(gòu)也簡(jiǎn)化了安裝。這些泵具有同類(lèi)產(chǎn)品中高的抽速,可提供大的產(chǎn)量(即使是氫氣)和對(duì)顆粒的廣泛耐受性。
*螺絲設(shè)計(jì)

低運(yùn)營(yíng)成本,少的維護(hù),高正常運(yùn)行時(shí)間
靈活:
面向應(yīng)用
過(guò)程時(shí)間短:
由于抽速高
緊湊的設(shè)計(jì)
COBRADS5161/9161A是經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的COBRADS系列的干式螺桿真空泵。即使在需要高氫氣吞吐量的條件下,它們的高抽速也使COBRADS螺桿真空泵成為光伏電池,平板和半導(dǎo)體生產(chǎn)中所有苛刻工藝的理想選擇。*COBRADS螺桿真空技術(shù)可以將含有粉末和顆粒的介質(zhì)抽空。
COBRADS干式螺桿真空泵具有干式壓縮,專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的螺桿型材和*的氣體排放。結(jié)果是高度的蒸氣和顆粒耐受性。螺釘由單件鑄件制成,避免任何間隙,使得工藝流體或顆粒無(wú)法進(jìn)入,從而防止腐蝕。
COBRADS5161/9161A標(biāo)配集成真空助力器,可提供更高的抽速和極限壓力。前級(jí)泵和真空助力器組合在一個(gè)緊湊的底座上。
COBRADS5161/9161A配備電機(jī),具有出色的能效潛力。由于維護(hù)要求低,運(yùn)行成本低,正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng),生命周期長(zhǎng),因此總體擁有成本非常低,為此性能等級(jí)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
由于采用嵌入式設(shè)計(jì),可以快速,輕松地將這些螺桿真空泵改裝到現(xiàn)有系統(tǒng)。
普旭COBRADS5161/9161A真空泵應(yīng)用
高密度等離子體CVD(HDP-CVD)
快速熱處理(RTP)
亞大氣壓CVD(SACVD)
金屬有機(jī)CVD(MOCVD)
等離子體增強(qiáng)CVD(PECVD)
低壓CVD(LPCVD)
原子層沉積(ALD)
技術(shù)規(guī)格
COBRADS5161/9161A是螺桿真空泵和一個(gè)真空助力器。螺桿真空泵的氣缸內(nèi)的兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被截留在汽缸和螺桿室之間,被壓縮并被輸送到氣體出口。在壓縮過(guò)程中,螺桿轉(zhuǎn)子不會(huì)彼此接觸或與氣缸接觸。因此,壓縮室中不需要潤(rùn)滑劑或工作流體。COBRADS系列真空泵采用的間接水冷卻,可在整個(gè)泵體內(nèi)實(shí)現(xiàn)可控的溫度分布,并可響應(yīng)工藝變化。*螺桿設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*的泵送速度,從而排出氫氣。
普旭COBRA DS 0700 - 2000 G真空泵同類(lèi)產(chǎn)品其他型號(hào):
COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F
COBRABC0101FCOBRAB            C0101G
COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F
上海譜瑞特工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司,是一家從事機(jī)械自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)口和電線電纜一家一應(yīng)設(shè)備的公司,從業(yè)已經(jīng)超過(guò)十年,在美國(guó)德國(guó)等多個(gè)歐美國(guó)家有著自己的分公司,貨源穩(wěn)定,可以從*直接拿貨,自行報(bào)關(guān)通關(guān),貨期短,*,品質(zhì),我們的目標(biāo)是為了中國(guó)更多的客戶提供的服務(wù)。
普旭COBRADS5161/9161A真空泵技術(shù)特點(diǎn)

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